首台国产商用高分辨辉光放电质谱仪成功交付

　　近日，由西安交通大学电气工程学院质谱器团队牵头研发的“十四五”国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器研发专项”成果——高分辨辉光放电质谱仪(型号：Sparkle)完成用户交付，标志着我国高端科学仪器国产化进程取得关键突破。
 

　　辉光放电质谱仪是探查固体材料的“超级显微镜”。在芯片制造等高端产业中，基体材料中哪怕混入痕量杂质，都可能引发晶格缺陷，导致整块芯片失效。而辉光放电质谱仪具备低至ppt(万亿分之一)级别的超高痕量检测限，是实现超高纯材料杂质精准定量不可或缺的高端精密仪器。
 

　　过去，辉光放电质谱仪完全依赖进口，采购和维修成本极其高昂。此次商业化落地，直接解决了科荟测试等国内检测机构和相关企业设备受制于人的关键痛点，大幅降低了国内材料检测机构的设备采购与运维成本，提升了高纯材料、集成电路材料等关键产品的质量检测效率，助力企业突破技术瓶颈；通过自主可控的检测装备，保障了我国在战略材料领域的供应链安全与数据安全，为高端制造、新能源、航空航天等产业提供坚实的技术支撑。
 

　　此次交付的商用机型，经整机调试，其丰度、灵敏度等十余项核心关键指标一次性通过验收。设备现场运行稳定、出数据快、检测精度完全达标，使用反馈优异，充分验证了国产辉光放电质谱仪的可靠性与环境适应性。
 

　　Sparkle型辉光放电质谱仪由西安交通大学牵头攻关，联合西北核技术研究院、坤元仪器(天津)有限公司、北方工业大学、中国科学院上海硅酸盐所、钢研纳克检测技术股份有限公司、中国计量科学研究院、国合通用测试评价认证股份公司等单位开展仪器整机研发、工程化产业化、固体标准物质研制和分析方法开发，实现了关键零部件100%国产化，关键技术100%自主可控，性能指标达到国际先进水平，全面赋能我国集成电路材料领域的痕量杂质检测能力，筑牢产业自主可控防线，彻底打破了国外技术封锁。